本报记者 李勇

行业高景气度下，半导体设备厂商营收、净利润快速增长，喜报不断。

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4月18日，半导体设备公司芯源微和拓荆科技分别披露2022年年报。其中，芯源微去年实现营业收入13.85亿元，同比增长67.12%；实现归属于上市公司股东的净利润2亿元，同比增长158.77%。拓荆科技去年实现营业收入17.06亿元，同比增长125.02%；实现归属于上市公司股东的净利润3.69亿元，同比大增438.09%。

此外，Wind数据显示，截至4月18日午间，A股15家半导体设备公司中，已有12家披露了去年年报或业绩快报、业绩预告，12家公司去年全部实现盈利或预计实现盈利，其中有11家公司净利润同比增长，5家公司净利润同比增长超过了100%。

景气度向好业绩快速增长

对于去年业绩大幅增长的原因，芯源微和拓荆科技两家公司均表示受到了行业景气度向好、销售订单大幅增加的影响。

年报数据显示，芯源微去年新签订单约22亿元，再创历史新高，其中前道产品实现了快速放量。而拓荆科技去年销售订单达43.62亿元，新增订单较上年同期增加了95.36%。

此外，位于沈阳的另一家半导体设备企业富创精密业绩预告也显示，公司去年取得了良好的经营业绩。据公告，经初步测算，富创精密预计去年实现归属于母公司所有者的净利润2.15亿元至2.58亿元，同比增长69.97%至103.97%。

新热点财富创始人李鹏岩在接受《证券日报》记者采访时表示：“这些公司都专注于自己所在的细分领域，产品也都是芯片生产环节不可或缺的关键设备。如今，国内晶圆厂家的资本开支和扩产节奏保持较高水平，对半导体设备需求仍然旺盛；同时，行业基于产业链安全考虑，也催生出了更大的国产设备需求，国产设备市占率正不断提升。”

行业发展进入加速期

近年来，半导体设备厂商紧抓行业高速发展机遇，持续在新产品、新技术上加大研发投入，着力提升核心能力。比如，年报显示，芯源微去年研发支出1.52亿元，同比增长64.47%。拓荆科技去年研发投入3.79亿元，同比增加31.37%。

高强度的研发投入，不仅使半导体设备厂商得以在细分领域保持领先，也促进了新产品不断涌现、突破。

芯源微年报显示，去年公司前道涂胶显影机实现快速放量，其中offline、I-line、KrF机台均实现批量销售。浸没式机台已陆续获得国内多家知名厂商订单，超高温Barc机台也成功实现了客户导入。去年第四季度，公司首台浸没式高产能涂胶显影机在国内某知名客户处完成验收。这也标志着公司前道涂胶显影设备已完成在晶圆加工环节28nm及以上工艺节点全覆盖，并可持续向更高工艺等级迭代。

“半导体设备是半导体产业发展的重要基础，没有半导体设备的自主可控，就无法实现半导体产业的自主可控，也就无法保障半导体产业链、供应链的绝对安全。”李鹏岩告诉记者，“在政策的支持下，我国半导体设备产业近年发展迅猛，已取得部分关键领域的重大突破。”

“半导体产业链自主可控是长期主线，设备及零部件国产替代迎来加速期。”浙商证券在最近发布的一份研报中预计，今年半导体行业资本开支上行，设备订单有望超市场预期，国产设备获得大规模验证机会，国产化率有望加速提升。